| 显微镜和浸物镜透镜 |
| JP2004373951 2004-12-24 发明申请 |
| 2005-8-4 |
| 要解决的问题 : 以提供一个与其中一个观察显微镜与高分辨率和观察与低分辨率可以作为期望观察在所述的时间上改变一个衬底和所述更高分辨率可以获得在一个低的成本和一个浸物镜透镜。溶液 : 该显微镜配备有一显微光学系统，其中形成所述待检查的部分放大的图像所述包装浸液的状态中的所述待检查的部件和所述物镜之间通过所述一种液体浸物镜的透镜系统，所述移相器移第一之间的部分到被检查多个所述待检查的部件的一基板上从所述现有的在所述的可视场的位置的状态该显微光学系统到该状态使待检查的第二部分所述衬底上存在在所述可视场位置，一种浸渍液体供给装置，其将该浸渍液体到所述物镜之间被填充和该部分到被检查，一浸液去除剂去除所述浸渍液填充所述物镜之间和该部分到被检查，和一种浸渍液体去除控制器，其使所述浸渍液要通过去除该移位器被操作之前，该浸渍液体去除剂。 |
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