| 灵敏分光干涉显微镜 |
| US11009400 2004-12-10 发明申请 |
| 2005-8-4 |
| 一种基于光谱灵敏外差光学干涉共焦显微镜的灵敏光学传感器，通过使用双各向异性声光布拉格衍射的基于超稳定在线声光可调谐滤波器(AOTF)的干涉仪实现。 一个实施例使用可调谐激光器作为光源，而其它实施例使用宽带光源或固定波长激光器作为光源。 一个实施例使用AOTF中的各向异性衍射来产生两个近共线正交线性偏振和轻微位移的光束，这两个光束都通过测试样品以提供高灵敏度的样品双折射或材料光学延迟测量。 使用球面透镜形成用于测试对象的高分辨率空间采样的聚焦点。 激光和AOTF调谐允许在不同波长下一次一个地进行双折射测量。 另一个实施例利用声光偏转器或布拉格单元中的各向异性衍射而不是波长可调谐的AOTF。 该仪器还通过使用具有用于接收光的点光检测器的单模光纤或空间滤光器针孔形成了传统的干涉式共焦显微镜。 另一个实施例通过透射波束产生设计提供了样品平面上的共线共位波束，用于超精确测量。 |
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