| 实现显微镜和显微测量的方法以及实现它们的显微镜和装置 |
| US11003728 2004-12-6 发明申请 |
| 2005-8-4 |
| 本发明涉及一种显微镜，其能够在宽的观察范围内以4或更低的相对低的成像放大率观察相位物体或表面凹坑和凸起，而在相对窄的空间频率分布范围内观察相位物体或表面凹坑和凸起。 显微镜包括光源2， 将来自光源(2)的光引导到被观察体(4)的照明光学系统(3)； 基本上位于照明光学系统3的光瞳位置28的部分孔径和成像光学系统15， 16， 18，用于在成像平面19上形成被通过部分孔径的光照射的被观察物体的图像4， 并且还包括目镜光学系统6或用于观看在成像平面19上形成的图像的摄像光学系统。 在成像光学系统的光瞳位置30处的所述部分孔径的图像的直径被设置成小于成像光学系统的光瞳直径， 并且在成像光学系统的光瞳位置30处设置有波前引入装置，用于在成像光学系统的光瞳位置30中引入大小随光瞳直径变化的波前。 |
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