| 用于所述的定向检测方法和系统中的电子扫描电子显微镜 |
| WOPL04000080 2004-10-6 发明申请 |
| 2005-8-4 |
| 该方法根据其用于检测所述的电子的流动至少两个扇区被设置和该流量所述特定扇区中的电子被打开的或者在一适当的序列。该系统由一个闪烁体的电子检测器和一组电极的聚焦和所述的电子流量控制在其至少在所述的电子流从所述样品级的两个扇区(7)到所述闪烁体(3); 所述扇区流量控制电极(9)被放置并提供可选地与电脉冲。该扇区的流控制电极(9)可以被制成一金属栅或在一形状的导电板或所述的微孔板的表面上淀积在所述形成一薄的导电层。 |
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