| 具有光波导之扫描探针式/近场光学式显微镜用之探针 |
| TW093112484 2004-5-4 发明授权 |
| 2005-8-1 |
| 本发明为一种具有光波导之扫描探针式/近场光学式显微镜用之探针结构，以简洁之光波导结构，降低传统近场光学显微镜光导引装置之制程困难度。其系包含光波导结构、光源及光束反射机制配置并制作於同一悬臂梁载具表面上，上述之载具具光波导结构、光源与光束反射机制之工作区域，其中光波导结构系用於接收由光源产生之入射光束，并将其传递至光束反射机制上，藉由此光束反射机构可将平行於悬臂梁之入射光束反射成与之垂直之耦合光束，进而可利用此道光束，进行近场光学之应用。其中光束反射机制可藉由预置方式亦或直接与悬臂梁结构同时形成，如此更能大幅的降低反射机制之制造成本。 |
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