| 扫描型形状测定仪，原子力显微镜，和使用该相同的表面形状测量方法 |
| JP2004007592 2004-1-15 发明申请 |
| 2005-7-28 |
| 要解决的问题 : 以提供一个用于精确地测量物体的原子力显微镜(AFM)下测量。溶液 : 该AFM，配备有一第一用于粗略测量探针1a，第二用于精细测量探头2a，和一控制部分，用于适当地使用第一和第二探针根据所述表面1a和2a的形状所述对象的测量下，使每个探针，以沿所述下表面的所述对象扫描测量，以测量所述基于所述对象表面的形状在每个探针的垂直位移。所述控制部分被构造成使第一引起的探头1A是以测量该整个表面形状所述对象的测量下，此后需要精细测量被估计的位置，和第二引起的探头2a是以测量所述所估计的需要所述精细位置测量的表面形状。 |
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