| 使用所述相同的聚焦点检测方法和光学显微镜 |
| JP2004007612 2004-1-15 发明申请 |
| 2005-7-28 |
| 要解决的问题 : 以提供一种其被快速地进行聚焦的聚焦方法和装置即使在一个粗糙的样品具有多个焦平面和在一个样品与一种不清楚的轮廓。溶液 : 一个最大的焦点位置是通过使激光检测狭缝从激光光点通过一个激光二极管的光或该等，所述激光狭缝光投影到所述样品的表面，成像所反射的激光狭缝光从该线传感器上样品设置垂直于所述光学轴线通过一个半透半反镜，移位所述线所述的光学轴的方向中的传感器，其特征在于 : 一移动距离所述线和一高频率分量的量传感器图像，和在其检测一移动距离所述高频率分量该线传感器的图像被最大化的量。 |
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