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4
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用于映射式电子显微镜和微装置的制造方法
JP2004006423 2004-1-14 发明申请
2005-7-28
要解决的问题 : 以提供一个映射式电子显微镜能够通过减少所发生的提高的分辨率通过所述库仑作用一模糊。溶液 : 该形状的照明光束1在一物镜的一个交叉位置的电-光系统是一个环形-等形状(手镯-等形状),和产生的电子2‘通通过该面圈等形状的孔部。因此,所述的照明光束1和所述之间的库仑作用所产生的电子2‘可以小,使得所述模糊的图像可以被制成小。
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