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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

形成原子力显微镜尖端的方法

US10516927 2004-12-1 发明申请

2005-7-28

本发明涉及一种形成硅原子力显微镜针尖的方法。所述方法包括以下步骤 : 在第一掺杂硅层上沉积掩模层，使得所述第一掺杂硅层的一些正方形或矩形区域不被所述掩模层覆盖；蚀刻所述第一掺杂硅层中的金字塔孔；去除所述掩模层；在所述第一掺杂硅层上沉积第二掺杂硅层，所述第二掺杂硅层与所述第一掺杂硅层相反地被掺杂；以及蚀刻掉所述第一掺杂硅层。还可以添加其它的步骤以在悬臂的末端形成原子力显微镜尖端。