| 该方法和系统用于定向检测的设计中的电子扫描电子显微镜 |
| PL36451004 2004-1-21 发明申请 |
| 2005-7-25 |
| 所述的方法，其特征在于，至少两个扇区设有与被检测的电子流动和流量打开特定扇区中的电子或者在一个合适的序列。该系统由电子探测器的闪烁体和一组聚焦控制中的电子流的电极至少两个扇区中的电子流从样品台(7)的闪烁器(3)，所述扇形流控制电极(9)放置并提供可选择地与电脉冲。所述扇形流控制电极(9)可以由金属格栅或导电片的形状或沉积在微孔板的表面中形成的一层薄的导电层。 |
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