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产业专利数据

测量用于线-和-空间图案的方法使用扫描电子显微镜

JP2003435519 2003-12-26 发明申请

2005-7-21

要解决的问题 : 以容易和快速测量的平均线的线-和-空间图案宽度，而不进行测量在一个大数量的位置。溶液 : 该平均线宽度，平均空间上的宽度和基于计算的平均节距宽度被一个峰值一种自身的相关值的间隔在所述线-和-空间图案的差分图像，和基于一个峰值间隔对应到一线边缘在所述差分图像的投影数据。