| 扫描探针显微镜 |
| JP2004004444 2004-1-9 发明申请 |
| 2005-7-21 |
| 要解决的问题 : 以提供一个扫描探针显微镜中能够最佳地和准确地去除静电的一个短时间和稳定操作的测量和检查样品不具有以中断所述探针的近似即使如果该样品被充电的一列直插式的自动检查过程中晶片等溶液 : 所述扫描探针显微镜是提供与一测量单元1提供一个悬臂与所述的探针20在一尖端21和可通过使所述探头接近样品表面上获取信息到所述样本12，去静电装置(301和302)用于去除所述的静电电荷样本，一个用于检测所述类型的样品类型检测部分310所述样本，并且一种去静电条件设定部311用于设定所述的去静电条件去静电装置根据检测到的信息在所述式的样品。 |
微信公众号