| 扫描探针显微镜 |
| JP2004004445 2004-1-9 发明申请 |
| 2005-7-21 |
| 要解决的问题 : 以提供一个扫描探针显微镜检查中能够稳定和高可靠的操作在一种检查装置中晶片等不停止操作或任何损伤以一探针，即使如果样品被充电在一晶片等的溶液列直插式的自动检查过程 : 所述扫描探针显微镜是具有一个测量单元1提供提供具有一悬臂的一探针20在一尖端21用于获取样品表面上的信息通过使所述探针靠近所述样本12，去静电装置(301和302)用于去除静电的电荷样本，一个静电充电状态确定部分311用于检测所述基于所述样品的静电电荷的状态的位移所述悬臂，和一个附加的去静电控制部312用于此外的情况下，所述的状态中的除电该样品的静电电荷超过一个门限值。 |
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