| 扫描探针显微镜 |
| JP2003427413 2003-12-24 发明申请 |
| 2005-7-14 |
| 要解决的问题 : 以提供一个高的速度扫描探针显微镜能够有效地选择一种最佳控制参数的值。溶液 : 该扫描探针显微镜是被配置到一个扫描中显示测量数据的图像显示区域202的一个监视器屏幕201为一具有一单色图像密度匹配到不规则性的信息与线203示出一样品的测量位置的线轮廓。测量参数值被设置和一个测量参数值显示区域205内的显示。一个进入样品线简档207和一返回样品线简档208是显示一个样品中的线轮廓显示区域204。该样品线简档被更新在一个频率设定为一个值小于所述X-扫描的频率。所述测量的参数值是由操作者适当地改变在XY方向重复扫描期间。所述改变的测量参数值被反射到所述测量操作上到下一更新定时。 |
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