| 致动器控制方法和装置，和扫描探针显微镜 |
| JP2003431554 2003-12-25 发明申请 |
| 2005-7-14 |
| 要解决的问题 : 一个压电元件，以增加所述的阻尼因子作为一种固体状态的致动器，而不加入一机械阻尼器。溶液 : 当所述层叠型压电元件20是根据一指令信号V移位，一位移传感器23的一阻尼比增加电路22检测所述压电元件20所述的位移和提供所述检测信号通过一滤波器电路24和一增益电路25以一减法器1，其减法信号被馈送到一个压电驱动器21以驱动所述压电元件20。例如，所述滤波器电路24抑制增益的频率，远高于一个角频率ω10a)，从而它几乎不给出所述谐振频率的所述压电元件20上的效果，与简单的调整和稳定地增加该阻尼比γ的所述压电元件20在一个长周期。 |
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