| 扫描电子显微镜 |
| JP2005087469 2005-3-25 发明申请 |
| 2005-7-14 |
| 要解决的问题 : 以使能高精度和高分辨率观察一短时间中没有专门技术，即使向一个容易带电件由具有一种功能，以检测和报告一个带电现象使精度劣化或解析功率降低和简化的一个对策防止带电。溶液 : 一种扫描电子显微镜检测该带电现象与一表面电位的一个观察的观察测量球所述检验部件或与一种由其监测所述图像变化的测量，和具有一个显示的测量，其效果。所述的对策防止带电为所观察到的效果的基础上的致动所述表面电位，所述监视所述图像的效果，或分类项目的那些效果。 |
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