| 使用浸没液体的用于宽带显微镜的反射式成像系统 |
| US10812111 2004-3-29 发明申请 |
| 2005-7-14 |
| 本发明公开了一种使用折反射物镜和浸没物质的减小尺寸的折反射检查系统。 所述物镜可与波长在通过红外光范围的约190纳米范围内的光能一起使用，并可提供超过0.9的数值孔径。 元件的直径小于100毫米，并且可以安装在标准显微镜内。 所述物镜包括聚焦透镜组，场透镜，芒果镜装置，以及芒果镜装置与样品之间的浸没物质或液体。 本发明还公开了一种与所述反射镜检查系统中的物镜一起使用的可变焦距光学系统。 |
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