| 一种锁相红外显微镜缺陷定位方法及装置 |
| CN202311047460.5 2023-8-18 发明申请 |
| 2023-9-29 |
| 本发明提供一种锁相红外显微镜缺陷定位方法及装置，该装置包括：用于承载待测芯片的承载平台以及锁相红外显微镜系统的红外探测器；该方法包括：首先在待测芯片的侧面配置锁相红外显微镜系统的红外探测器，并向待测芯片施加测试电压及/或测试电流，其中待测芯片具有沿第一方向延伸的两个侧边及沿第二方向延伸的两个侧边，第一方向与第二方向垂直；而后采用红外探测器，从待测芯片的侧面探测待测芯片中的故障点在第一方向及第二方向的目标定位位置；最后基于所述故障点在所述第一方向及第二方向的目标定位位置，确定所述故障点在所述待测芯片的平面区域内的目标定位位置。本发明能够在不除去功率芯片正面金属层的前提下，对芯片内部缺陷进行无损定位。 |
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