| 电子显微镜 |
| US11052200 2005-2-8 发明申请 |
| 2005-7-7 |
| 本发明的目的是提供一种电子显微镜，其能够在重新开始样品观察时提高工作效率。 本发明提供一种用于控制观察条件设定装置的控制单元，所述观察条件设定装置包括电子枪控制单元，照射透镜控制单元，物镜控制单元，放大透镜系统控制单元和样品台控制单元。 当指定某一样本的图像数据时，检索该样本的观察条件数据。 然后，在电子显微镜上基于观察条件数据自动恢复与保存样品的图像数据时使用的观察条件相同的观察条件。 因此，与所存储的图像相同的图像被可靠地恢复。 |
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