| 孔径和孔径线扫描电子显微镜的方法 |
| KR1020030098770 2003-12-29 发明申请 |
| 2005-7-5 |
| 目的 : 一种扫描电子显微镜的孔径和孔径是提供一种用于将所述的方法，以延伸一所述孔径形成的更换周期，其由多个板的。结构 : 一种孔径的一位置被控制在X和Y轴通过一控制单元的扫描电子显微镜。第第一板(100)被安装在所述控制单元，一第二从一个侧板(110)被分支第一的板。多个贯通孔(112)。其中一电子束穿过分别形成与一个预定的间隔。第第三板(120)被分支从所述另一侧的第一板。多个贯通孔，其中电子束穿过分别形成与一预定的间隔。kipo2006 |
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