| 用于扫描探针显微镜的悬臂及其制造方法。 |
| JP2003408896 2003-12-8 发明申请 |
| 2005-6-30 |
| 要解决的问题 : 以提供一种用于一种扫描探针显微镜的悬臂能够进行稳定的扫描，即使与其中所述区域相对于一个线性的样品是窄于所述的前端部的一探针。溶液 : 该悬臂10用于该扫描探针显微镜是通过形成一个探针部12构成到一个端一杆部11和一体地形成的一支撑13到所述杆的所述其它端部11。该探头部分12具有一突出长度L是一个线性投影在所述厚度方向(Z-方向)的所述杆部11和延伸在所述长度方向(X-方向)的所述杆部11。所述所述探针的前端部12是一脊线12a。 |
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