| 化合物显微镜配备有激光显微镜和扫描探针显微镜 |
| JP2003416983 2003-12-15 发明申请 |
| 2005-6-30 |
| 要解决的问题 : 以一方向包括所述高度方向位置中的一探针在一短时间，当使用一个扫描探针显微镜观察被启动。溶液 : 探针定位所述的实施例中的一个例子中，使用所述扫描探针显微镜观察时被启动; 所述三个样品18的三维形状是与一个共焦激光扫描显微镜观察到的; 和其三个三维形状数据被存储在存储部51。然后，一旋转器1被旋转，以使所述扫描探针显微镜载片台由一个观察位置处。一水平平面中的一个位置(XY位置)，以其所述的所述扫描探针显微镜探针37a被设定接近，是确定从所述的场之间的所述共焦激光扫描显微镜的视图，以使所述探针37a接近在一高的速度，以在该XY位置Z位置的附近，其具有被存储在所述存储部51通过XYZ位置控制部50。 |
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