| 样品信息测量方法和扫描型共焦显微镜 |
| JP2004328368 2004-11-12 发明申请 |
| 2005-6-30 |
| 要解决的问题 : 以提供一样品信息测量方法和一种扫描型共焦显微镜，其增强一种三维信息的获取可操作性，同时观察样品的直观地显示一种表面形状和intelligibly。溶液 : 该方法包括一个光源照射的光通过物镜到所述样品; 离散地改变一个所述物镜的聚光位置的相对位置和该样品沿着一个光一会聚的光的轴方向; 获取所述的光强度的信息从所述每个相对位置中的样品，分别; 提取多个所述的光强度的信息从这些光强度信息组; 估计所述最大值和其上的相对位置变化的曲线，其中所述多个所提取的适配光强度信息。当获取所述所估计的最大值和其相对位置的光强度信息作为所述强度信息。和一个高度信息，分别，该强度信息和所述样品被连续地获得所述的高度信息通过移动所述聚光位置的反复和往复的相对位置的所述物镜和所述样品沿所述光所述会聚的光离散地轴。 |
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