| 用于通过显微镜观察方法及用于该方法要使用显微镜 |
| JP2003414158 2003-12-12 发明申请 |
| 2005-6-30 |
| 要解决的问题 : 以提供一通过其中一个相物体或所述的耐受性的显微镜一个表面可以可以观察到在比较低的图像形成功率在一个宽的观察范围≤4a次数和在一个较窄空间频率分布的范围。溶液 : 在所述显微镜具有一个光源2，一种照明光学系统3用于引导光从所述光源2到一个观察对象4，一个部分的一个近似光瞳位置上设置孔28所述照明光学系统3，和图像形成的光学系统15，16，18，用于形成该观察对象的图像4照射的光穿过该部分孔径提供一种图像形成表面19和上还具有一个目镜光学系统6或一个图像拾取光学系统用于观察该图像形成在所述图像形成表面19，该图像通过所述部分的直径所述光瞳的位置上的孔30所述图像形成的光学系统被设置比所述的光瞳的直径较短的所述图像形成的光学系统和波前使装置用于使其尺寸被改变的波前在根据与所述光瞳的直径是所述光瞳位置30上设置所述图像形成的光学系统。 |
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