| 扫描电子显微镜 |
| JP2003407984 2003-12-5 发明申请 |
| 2005-6-30 |
| 要解决的问题 : 提供一种图像处理方法能够减少样品的薄型化的，和提供具有高能见度的最佳图像质量，在扫描电子显微镜。溶液 : 薄型化是通过减少一帧的累积数量减少。由于二次电子检测当所述帧的累积量是减少被降低，所述二次电子检测量通过增加所述探针的电流量被增加。通过执行一个直方图被创建的电子束扫描(S12)，和所述直方图是二次微分(S13)来计算灰度其中一个样品图像的对比度变化和所述探针的电流量(S16)。通过调整所述累积帧号合适的用于所述计算的所述探针的电流量和所述对比度合适用于所述样品图像(S17)，该样品被抑制的薄型化，和所述最佳样品图像具有高能见度被得到的测量长度(S18)。 |
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