| 介电损耗扫描探针显微镜及其测量方法 |
| CN200410077616.5 2004-12-28 发明申请 |
| 2005-6-29 |
| 本发明涉及一种介电损耗扫描探针显微镜及其 测量方法。该显微镜包括有PZT扫描管，导电金属探针及下表 面具有导电层的非导电样品、扫描隧道显微镜控制器、频率信 号发生和相位检测器、前置放大器和微型计算机。采用具有较 小或不要直流分量的交流偏压方法，在探针和被测样品间电容 或介电损耗角随频率变化的曲线峰值附近或斜率变化最大处， 选择若干个工作频率，用电容(以电压表征)和交变电流落后于 交变电压的滞后相角作为二维图像的反馈量和显示量。在探针 的一次二维扫描中可同时获得被测物的表观电容二维图和表 观介电损耗二维图，由该两图的减法运算可得到试样的真正的 介电损耗二维图。在介电损耗二维图中显示出了在用其它方法 所未能显示出的介电结构、特别是界面的细节。 |
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