| 隧穿损耗探针扫描显微镜及其测量方法 |
| CN200410077617.X 2004-12-28 发明申请 |
| 2005-6-29 |
| 本发明涉及一种隧穿损耗探针扫描显微镜及其 测量方法。该显微镜包括有PZT扫描管，导电金属探针及导电 样品、扫描隧道显微镜控制器、频率发生和相位检测器、前置 放大器、导电的被测样品和微型计算机。采用具有交流载波和 直流分量的偏压方法，在探针和被测表面间的交变电流幅值和 隧穿损耗角随频率变化曲线的峰值附近或斜率变化最大处，选 择若干个工作频率，用隧穿电流的直流分量、隧穿电流的交流 分量幅值和交变电流落后于交变电压的相角作为二维图像的 显示量。在探针的一次二维扫描中可同时获得被测物表面的二 维形貌图、交变电流幅值图和隧穿损耗图。在二维电流响应图 和隧穿损耗图中显示出了在二维形貌图所未能显示出的细节； 并可对不同的被测原子显示出不同的灰度，可被用于原子、分 子及键型的识别。 |
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