| 基于角度测量的原子力显微镜测量方法 |
| CN200410094053.0 2004-12-28 发明申请 |
| 2005-6-29 |
| 本发明公开了一种基于角度测量的原子力显微 镜测量方法，属于原子力显微镜AFM的探针/悬臂梁信号的检 测技术。该方法采用角度传感器，入射光垂直入射AFM的探 针表面，探针转角即反射光偏转角经该传感器检测并转换成与 角度变化值成比例的电信号，经信号分析处理得到由于测力变 化而引起的悬臂梁的角度变化，进而得到探针的测力变化/物体 表面形貌轮廓。本发明的优点在于实现了Z向与XY向运动的 分离，从而减小了被测样品形状、体积、重量等的限制，扩大 原子力显微镜的适用范围，同时由于测量的是微悬臂梁尖端的 角度变化，在恒力模式下探针固定端的位置改变不会影响转角 的测量，因此该方法既可克服由于采用挠度测量方法引入的原 理性误差及其后续修正问题。 |
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