| 基于角度测量的原子力显微镜测量装置 |
| CN200410094054.5 2004-12-28 发明申请 |
| 2005-6-29 |
| 本发明公开了一种基于角度测量的原子力显微 镜测量装置，属于原子力显微镜(AFM)的探针/悬臂梁信号的检 测系统及装置。该装置是在原子力显微镜的悬臂梁位移测量装 置上采用光学差动式角度传感器，所述的角度测量装置包括准 直光源、会聚透镜、1/4波片、偏光分光镜、分光镜、两个临 界角棱镜、两个光电二极管、Z向跟踪用微动驱动器、平面内 2维微动扫描器、探针夹持器和AFM探针；并且样品台及平 面内2维微动扫描器与AFM探针及Z向跟踪用微动驱动器相 分离，该距离可调。本发明的优点在于Z向跟踪装置与XY平 面内扫描装置相分离，降低了对被测物体的大小、重量及扫描 范围等的要求或限制，被测物体可为十几厘米×十几厘米×几 厘米。 |
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