| 显微镜装置和浸物镜透镜 |
| KR1020040110818 2004-12-23 发明申请 |
| 2005-6-29 |
| 目的 : 一显微镜装置和一个浸物镜透镜被提供到从一观察与低解析功率变化以该观察与高分辨率一衬底观察时，如果必要，和使所述高解析功率在一个低的成本。结构 : 一显微镜观察光学系统形成的一个放大图像的位置通过一个浸物镜(48)。与一种浸渍液体填充该观察位置和所述物镜之间。一种移动装置(12-14)移动一状态第一之间的观察位置的一基板上多个观察的位置(11)在所述的场所述的显微镜到另一个状态的视图第二所述显微镜观察的视图的领域中的位置。浸液供应器(49)之间提供一种浸渍液体(40)，以填充所述物镜和所述观测位置。浸液去除剂(52)去除该浸渍液体填充所述物镜和所述观测位置之间。一种浸没液体去除控制器使所述操作之前去除剂除去所述浸渍液浸渍所述移动装置。kipo2006 |
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