| 扫描电子显微镜 |
| JP2003407914 2003-12-5 发明申请 |
| 2005-6-23 |
| 要解决的问题 : 以容易地获得一种具有必要的图像的图像通过节省麻烦的图像质量调整工作电子显微镜的。溶液 : 通过一个会聚镜头的多个设定值的改变以改变所述的所述的电流量一主电子束，多个图像的31，32和33中不同的分辨率和s\/N比是获取和显示，使得所述各自的图像和它们的分辨率或s\/N比可以与一个相比的另一个，以及该图像具有一个显示屏幕上被选择的最佳图像质量或所述图像被调整到具有所述最佳质量。 |
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