| 一种用于制造方法用于原子力显微镜探针 |
| EP04447272 2004-12-10 发明申请 |
| 2005-6-22 |
| 本发明是涉及一种用于原子力显微镜探针，用于制造方法，包括所述的步骤 : 提供一种半导体衬底(1)，所述表面上产生一个上侧的所述衬底，一个或多个模具，用于所述的生产一个或多个探针尖端，制造所述一个侧上，一个或多个探针配置，每个配置包括一个接触区用于附件的一个夹持器，和连接与所述接触区中的至少一个探针尖端的一个集合(3)和一悬臂(4)，将一个或多个支架(6)到所述接触区(s)，其特征在于 : 所述表面区域每个接触的区域是所述夹持器的尺寸比所述表面区域中的较小的区域，它是以被连接到所述接触区，释放所述结构和方法还包括所述的步骤包括所述探针配置和所述夹持器从所述下基板通过蚀刻所述探针从所述侧配置的所述基板，其上的所述探针配置产生的是，所述下-蚀刻步骤以代替所述的步骤之后将一保持器。 |
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