| 扫描探针显微镜 |
| JP2003392289 2003-11-21 发明申请 |
| 2005-6-16 |
| 要解决的问题 : 以提供一个扫描探针显微镜，其具有实现一针尖端的状态监控在所述的回缩的一探针，在一个步骤-型扫描探针显微镜中。溶液 : 该扫描探针显微镜是构成，使得悬臂21，具有所述探头20提供到所述引导及其端被提供和该探针20，是允许接近或以相对于试样与后退12，通过移动该悬臂21，以获得样品12所述的表面数据和配备有一探针退避状态确认装置60用于确认所述探头20所述的退避操作是否是正常或异常。一位移检测器，用于检测所述位移量的所述的悬臂21，被提供，和所述探针退避状态确定装置60是由一种监视器装置49用于监测所述检测信号的输出从所述位移检测器; 该退避后所述探头20的操作已经完成和一决策装置61用于决定是否所述该探针20的退避操作是正常或异常，该检测信号的基础上监视由所述监视器装置49。 |
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