| 使用扫描电子显微镜图像和二次电子信号分布测量精细图案的临界尺寸的方法，系统和计算机程序产品 |
| US11008477 2004-12-9 发明申请 |
| 2005-6-16 |
| 本发明提供一种图案检查方法，通过获取检查图案的扫描电子显微镜图像，并获取检查图案的扫描电子显微镜二次电子信号分布来检查图案。 通过将检查图案的扫描电子显微镜图像与样品图案的扫描电子显微镜图像进行比较，并且通过将检查图案的扫描电子显微镜二次电子信号分布与样品图案的扫描电子显微镜二次电子信号分布进行比较，来确定检查图案是否有缺陷。 |
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