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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

扫描电子显微镜

US11006556 2004-12-8 发明申请

2005-6-16

公开了一种扫描电子显微镜，其中通过校正和控制二次电子的轨迹，由样品产生的二次电子被二次电子检测器有效捕获。在物镜下方的一次电子束的辐射孔附近设置施加有几伏至几十伏负电位的第一辅助电极，在第一辅助电极靠近二次电子检测器的一侧设置施加有正电压的第二辅助电极，从而校正和控制二次电子的轨迹。另外，在二次电子检测器的前表面上设置有用于辅助捕获从样品产生的二次电子的第三辅助电极。