扫描显微镜
 
WOEP04052519  2004-10-13  发明申请

2005-6-16
 
  本发明涉及一种扫描显微镜包括 : 至少一个光源(1,3),其产生一束束照明的光; 一个声光元件(13),用于调整所述的光输出所述的照明光束的束; 和一光束偏转单元(19,36)用于引导所述的照明光束的束上或通过一样品(27)。所述显微镜是配置在这样的一种方式使该声光元件(13)在空间上分离的部分光束束从所述的照明光射束。该显微镜是还配备有光束引导装置,其直接该部分光束束到所述样品; 优选地,以操纵所述后者。
 
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