| 使用一个带电粒子光束的光掩模上的缺陷修复和形貌数据从一个扫描探针显微镜 |
| KR1020057001897 2005-2-2 发明申请 |
| 2005-6-10 |
| 地形数据从一个扫描探针显微镜或类似的装置是作为一种替代用于端点检测，以允许使用一精确的相位移光罩中修复缺陷的带电粒子光束系统。该地形数据从一个缺陷一个半透明的区域是用于创建一个显示的地形地图，它可以被叠加在带电粒子光束图像。所述的形貌图像的密度和所述两个图像的所述对准可以通过调整所述操作者为了准确位置该光束。从一个SPM也可以使用形貌数据来调整充电粒子束剂量用于基于所述缺陷区域内的每个点在该仰角和表面的角度在所述特定点。kipo&wipo2007 |
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