| 扫描装置，用于所述扫描显微镜 |
| RU2005103279 2005-2-8 实用新型 |
| 2005-6-10 |
| [otnosits是有用的所述模型]到所述技术和所述显微镜制造，它可以被使用之前，所述扫描探针显微镜作为所述扫描装置。所提出的装置由两个相同的设备的的[DL][pozitsionirovani]所述的头，一个其是刚性的另一固定靠在所述的工作端; 此外工作端位于[perpendikul][RNO]到每个其它。每个所述的设备具有一个传感器和一线圈的[peremeshcheni]。压电陶瓷的三坐标与所述的扫描器的对象是固定座靠在所述工作端上的装置。[pozvol是有用的所述模型][ET]，以获得所述的大尺度的[skanirovani]，所述机械的特性[DL][peremeshcheni的设备]和以同时获得高的[vibrostabilnost]和[peremeshcheni的精度]，压电陶瓷的特性在该点扫描器。 |
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