| 扫描电子显微镜 |
| JP2003380796 2003-11-11 发明申请 |
| 2005-6-9 |
| 要解决的问题 : 提供一种扫描电子显微镜配备有一对象的透镜具有一孔，能够有效检测二次电子从一个样品通过一个二次电子探测器产生的。溶液 : 该扫描电子显微镜包括一个电子束源4，一种电子光学系统8控制和照射所述从所述电子束源4发射的电子束20在该样品10，和一个样品台11用于安装该样品10。一孔口31被设置在该部分，其中所述对象的透镜7构造所述的电子光学系统8面对样品10，第一二次电子检测元件34具有一个电子通过孔是设置在一个电子束穿过空间9，和一个电压施加装置是连接到所述样品级11。该样品10上施加一负电压通过所述样品台11通过该电压施加装置。 |
微信公众号