| 扫描器及扫描探针显微镜 |
| JP2003375305 2003-11-5 发明申请 |
| 2005-6-2 |
| 要解决的问题 : 以提高所述一个管扫描器的扫描速度，以使所述灯管扫描装置紧凑，并且以使一扫描探针显微镜通过使用所述灯管扫描装置紧凑用于所述扫描探针显微镜制成紧凑。溶液 : 该管扫描器是提供具有一圆柱形压电元件; 一个节点将所述压电元件在其纵向方向; 和一电压施加装置，用于所述压电元件上施加一电压在所述节点的两侧。所述扫描探针显微镜是提供具有一样品，探头相对的到所述样品; 和一管扫描器，用于两维相对扫描所述样品和所述探针之间的距离和改变所述样品和所述探针检测的信号和所述的基础上显示图像的物理量作用在所述探头和所述样品。所述扫描探针显微镜中，所述管扫描器是上述管扫描器。 |
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