| 光电子发射显微镜 |
| US18097554 2023-1-17 发明申请 |
| 2023-9-28 |
| 一种减少用于捕获具有高亮度和分辨率的光电子图像的准备时间的光电子发射显微镜。 所述光电子发射显微镜包括：样品台，样品待放置在所述样品台上； 激发光源，所述激发光源被配置为用激发光照射所述样品； 相机，所述相机被配置为检测从所述样品发射的光电子并捕获光电子图像； 物镜，所述物镜被配置为将所述光电子聚焦在所述相机的检测表面上； 以及控制单元，被配置为控制每个单元，其中，所述控制单元基于第一光电子图像的亮度分布使所述相机的视场中心与所述激发光的照射位置对准，并且基于通过改变所述物镜的透镜强度而捕获的第二光电子图像和第三光电子图像使所述视场中心与所述物镜的中心轴对准。 |
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