| 扫描探针显微镜 |
| JP2003366748 2003-10-28 发明申请 |
| 2005-5-26 |
| 要解决的问题 : 以测量精确可靠地防止两者上的不利效果由于偏差在所述调整一个光学系统的用于检测当悬臂被替换的位移和其它次数和所发生的破损由于该样品和探针之间的碰撞。溶液 : 该悬臂4是一个谐振点或在一处振荡频率在其附近通过一振荡器7。反射的光从所述截开的悬臂4被接收的光接收平面13aU和13aL的光检测器13在这个时间到基于输出检测信号的每个上接收到的光量。一个算术单元17计算一个信号S1对应的所述总接收到的光量; 一信号S2的一个直流分量，所述所接收的光的量之间的差在所述光接收平面; 和一信号S3的AC分量。一显示21独立地显示它们。作为监控所述的显示，操作者调整所述激光束源8的位置和所述光检测器13在这种方式使该信号S1和S3可以变得更大和所述信号S2小。它被从而可以容易地和可靠地调整所述光学系统约到最佳状态。 |
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