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扫描探针显微镜致动器的高度校准

US10722806 2003-11-26 发明申请

2005-5-26

提供了一种用于校准扫描探针显微镜的机构。所述校准机构操作以将输入信号施加到致动器以引起所述致动器的加速度，并且测量指示连接到所述致动器的悬臂由于所述致动器加速度而偏转的值。所测量的偏转值用于确定致动器位移的相应值。