元素特异性X射线荧光显微镜及其操作方法
 
US10995642  2004-11-23  发明申请

2005-5-26
 
  元素特异性成像技术利用由初级电离辐射诱导的元素特异性荧光X射线。 然后使用光学系统将来自感兴趣元件的荧光X射线优先成像到检测器上。 在适当配置的成像系统中使用彩色透镜实现光学系统的优先成像。 带板是这种彩色透镜的一个例子; 其焦距与X射线波长成反比。 如果带板透镜本身由基本上包含相同元素的化合物制成,则可以获得对试样中给定元素的优先成像的增强。 例如,当使用Cu La谱线对铜成像时,使用铜带板透镜。 由于其衍射效率(衍射到焦点的入射能量的百分比)在吸收线附近迅速变化,并且可以在制造它的元件的X射线荧光线处达到峰值,因此这增强了波带板透镜的优先成像。 在另一个实施例中,在光学系统中使用光谱滤波器,例如多层光学或晶体,以在使用彩色或消色差透镜的荧光显微镜中实现优先成像。
 
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