| 无分束器的共焦显微镜装置 |
| US10716552 2003-11-20 发明申请 |
| 2005-5-26 |
| 一种用于同时检查衬底表面上的多个斑点的显微镜装置，包括至少一个基本上平行的照明源，该照明源指向不平行于光轴的方向， 光学装置和光学传感器阵列，所述光学装置被配置为引导所述基本平行的照明以照明所述衬底表面上的间隔开的斑点，并且用于从所述斑点返回辐射，所述光学装置被配置为引导所述基本平行的照明以照明所述衬底表面上的间隔开的斑点。 所述光学装置包括反射器阵列，所述反射器阵列被定位并成角度以产生通常平行于所述光轴的间隔开的照明光束阵列，每个反射器反射至少90%的入射辐射强度。 每一个光学传感器包括至少一个反射器，该至少一个反射器与至少一个光学传感器在空间上相关联，以便接收从由相应反射器照射的光点返回的辐射的至少一部分。 |
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