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产业专利数据

显微镜检查方法和仪器

US10964034 2004-10-13 发明申请

2005-5-26

一种显微镜，包括 : 光源，其发射用于照明样品的照明光束；分束器，其将测量光从照明光束中分离出来；以及用于确定照明光束的光功率电平的装置。所述用于确定照明光束的光功率电平的装置接收所述测量光并且包括用于同时颜色选择性地检测所述测量光的装置。