| 垂直对准的纳米结构扫描探针显微镜尖端 |
| US10716770 2003-11-19 发明申请 |
| 2005-5-19 |
| 本发明描述了用于悬臂结构的方法和装置，所述悬臂结构包括垂直对准的纳米结构，特别是垂直对准的碳纳米纤维扫描探针显微镜尖端。 一种方法包括一种方法，该方法包括制造具有垂直对准纳米结构的悬臂结构，该纳米结构包括 : 在衬底的第一侧形成掺杂层； 在衬底的第二面上沉积蚀刻掩模层； 形成多个对准标记，所述多个对准标记耦合到所述衬底的所述第一侧； 在与掺杂层耦合的确定位置沉积催化剂纳米颗粒； 在确定位置用催化剂纳米颗粒生长垂直排列的纳米结构； 沉积第一保护层，该第一保护层围绕垂直排列的纳米结构的至少一部分； 图案化第一保护层以限定悬臂体的轮廓； 将悬臂体的轮廓从第一保护层转移到掺杂层中，以从掺杂层形成悬臂体； 沉积第二保护层，该第二保护层覆盖悬臂体的表面的至少一部分； 图案化所述蚀刻掩模层以限定浮雕体积的轮廓； 从蚀刻掩模层将浮雕体积的轮廓转移到衬底的第二侧，以从衬底去除浮雕体积，其中悬臂体没有被去除。 |
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