| 近场光学显微镜 |
| JP2003353327 2003-10-14 发明申请 |
| 2005-5-12 |
| 要解决的问题 : 以抑制由一个漂移的影响或等，以进行精确测量，在一个近场光学显微镜。溶液 : 这种近场光学显微镜是具有一个级21提供用于安装一个测量对象S，一探针30a相邻于或与所述被测物体接触，一扫描机构36用于移动三-维该探针30a相对与相对于所述测量对象S，一个形状测量机构用于测量所述测量对象的形状x2通过所述探针30a相对移动通过该扫描机构36，一种瞬逝光产生机构，用于产生瞬逝光y2在一被测物体表面，一个光检测机构用于检测z2从所述测量对象由于该瞬逝光光，和一个控制部分C用于控制该各自的机构。所述扫描机构36被提供有一用于测量位移的位移测量装置37内的至少一水平两维平面进行位移的该级的至少一个中和所述探头，和所述控制部C通过执行一个检测位置进行伺服控制，以调节所述光检测机构z2基于所述测量位移。 |
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