| 扫描电子显微镜中样品图像优化的装置和方法 |
| US10985144 2004-11-10 发明申请 |
| 2005-5-12 |
| 一种用于识别扫描电子显微镜系统中探针电流的最佳着陆能量的系统和方法。 具有已知着陆能量的探针电流被引导到用于产生信号电子束的样品。 信号电子束的电流通过将电子束引导到电流检测器来测量，该电流检测器用于计算电流产额，该电流产额是信号电流与探测电流的比率。 然后，可以改变所述接地能量，以便随后测量所述信号电流，以识别产生所需电流产量的接地能量。 一旦识别，着陆能量值可用于产生指向成像检测器的信号电子束，以产生样品的形貌图像。 |
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