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扫描显微镜和光学元件
US11012523 2004-12-15 发明申请
2005-5-12
本发明公开了一种扫描显微镜,其限定照明光束路径和检测光束路径,所述扫描显微镜具有布置在照明光束路径和检测光束路径中的物镜。 所述扫描显微镜的特征在于,还设置在所述照明光束路径和[SiC]检测光束路径中的可互换模块,所述可互换模块将所述照明光束路径和所述检测光束路径以彼此固定的角度关系分开,并且包括至少第一声光部件。 还公开了一种具有至少三个端口的光学元件。
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